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Tecnología de inteligencia de Lecheng (Suzhou) Co., Ltd.
Correo electrónico
sale@lcintel.comTeléfono
+86-17751173582
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El sistema de recocido láser de obleas presenta un diseño modular con fuentes láser configurables (308 nm/532 nm/1064 nm) y una plataforma de movimiento con cojinetes de aire de alta precisión (precisión de posicionamiento de ±1 μm). El sistema compacto de 2 m × 2 m, compatible con salas blancas, integra monitorización de temperatura en tiempo real y ajuste automático del enfoque para un control constante del proceso.
Recocido de precisión: densidad de energía ajustable de 0,1 a 5 J/cm² con control de temperatura de ±1 ℃
Alto rendimiento: procesa entre 100 y 500 sitios por segundo (100 veces más rápido que RTP)
Procesamiento selectivo: permite el recocido a nivel de un solo transistor
Daño no térmico: El pulso ultracorto evita el calentamiento del sustrato
Control inteligente: optimización de parámetros basada en IA y detección de defectos
Dispositivos lógicos avanzados: recocido de fuente/drenaje para nodos de 7 nm y 5 nm
Flash NAND 3D: recocido de contactos para estructuras de memoria verticales
Dispositivos de potencia: recocido de SiC/GaN para una mejor movilidad
Fabricación CIS: Mejora del rendimiento a nivel de píxeles
Empaquetado avanzado: recocido de interconexión para circuitos integrados 2.5D/3D
Datos clave de rendimiento:
Parámetro | Especificación |
|---|---|
Tamaño de la oblea | 4-12 pulgadas |
Longitud de onda | 308/532/1064 nm seleccionable |
Densidad de energía | 0,1-5 J/cm² |
Precisión de posicionamiento | ±1 μm |
Rendimiento | 100-500 sitios/seg |
Control de temperatura | ±1℃ |
Las capacidades avanzadas de control de procesos del sistema lo hacen ideal para la fabricación de semiconductores de próxima generación, ofreciendo un rendimiento superior del dispositivo y al mismo tiempo manteniendo un alto rendimiento y productividad.
Transferencia láser ultraprecisa para matrices Micro LED. Producción en masa de alta velocidad con precisión micrométrica. El proceso sin contacto garantiza cero daños. Diseño modular para escalamiento flexible de producción.
MásRevestimiento láser de alta precisión para reparaciones de metales duraderas. El proceso ecológico reduce los residuos y el consumo de energía. Los controles automatizados garantizan recubrimientos consistentes y de alta calidad. De confianza para industrias globales por su precisión y confiabilidad.
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MásLa limpieza láser ecológica sustituye a los tratamientos químicos. Limpieza de precisión sin dañar los materiales base. El diseño liviano permite una fácil operación en cualquier lugar. Bajo mantenimiento con fuente láser de fibra de larga duración.
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