Perfilómetro de aguja: un instrumento de metrología de superficies de contacto de ultraprecisión
Principio de funcionamiento
El perfilómetro de aguja funciona mediante contacto físico directo entre una sonda con punta de diamante y la superficie de la muestra. A medida que la aguja recorre la superficie, picos y valles microscópicos inducen desplazamientos verticales, que se convierten en señales eléctricas mediante sensores. Estas señales se procesan mediante puentes de medición, amplificación, rectificación sensible a la fase y filtrado para generar una salida de variación lenta proporcional al movimiento de la aguja, reconstruyendo así la topografía de la superficie.
Características del instrumento
1. Alta precisión
Resolución vertical subangstrom (≤0,1 nm)
Mide variaciones de altura desde escalas micrométricas hasta nanométricas.
Captura datos completos: topografía, rugosidad, ondulación.
2. Estabilidad excepcional
Alta repetibilidad (σ < 0,5 % en pasos de 1 μm)
Mediciones reproducibles para detalles topográficos sutiles
3. Operación fácil de usar
Sistema de navegación con visión en color opcional
Tecnología de sonda magnética para un reemplazo rápido de la punta (<30 segundos)
Función de nivelación automática y software intuitivo con módulos de calibración
4. Capacidades multifuncionales
Mide la altura del escalón, el espesor de la película, la rugosidad, la tensión, etc.
Admite modos de escaneo multizona y 3D
Análisis estadístico SPC integrado (por ejemplo, cálculos Cp/Cpk)
Campos de aplicación
Industria de semiconductores
Medición de la altura del escalón de película delgada (capas PVD/CVD)
Caracterización del perfil de fotorresistencia
Cuantificación de la velocidad de grabado
Monitoreo de CMP (Pulido Químico Mecánico)
Fotovoltaica
Análisis del espesor del recubrimiento para células solares
Medición de la altura del escalón posterior al grabado
Optimización del rendimiento de las células de perovskita/CIGS
